ZEISS G500超高分辨率扫描电子显微镜

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来源:bwin必赢唯一官方网站发布时间:2024-04-08浏览次数:97

仪器简介封面

场发射扫描电子显微镜

联系人:王老师

地址:长清校区轻化楼C107-4

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一、仪器名称

中文名称:场发射扫描电子显微镜

英文名称:Field Emission Scanning Electron Microscope

二、型号:ZEISS GEMINI 500

三、生产厂家:德国蔡司公司ZEISS

四、仪器简介

ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测,即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像,可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪,可广泛应用于微区形貌和成分分析。

五、仪器主要特点及技术指标:

1.分辨率: ≤0.6 nm@15KV (二次电子),≤1.1nm@1kV(二次电子,无任何特殊模式); ≤1.2nm@500V

2. 放大倍率:20-2,000,000

, 根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准,低倍率与高倍率无需任何模式更换;

3. 电子枪:肖特基热场发射电子枪;

4. 加速电压或着陆电压范围:0.02kV 30 kV,步进10V,连续可调;

5. 探针电流:最大电流≤100nA

6. 镜筒内具有静电透镜设计,可对铁磁性材料进行高分辨成像;

7. 可容纳最大样品尺寸≥200mm,最大样品高度≥60mm

8. 五轴优中心马达驱动样品台,移动最大范围指标:X≥130mmY≥130mmZ≥50mm,双向倾斜,倾斜范围-3°-70°,旋转≥360°(连续旋转);

9. 样品室有独立的背散射电子探测器(EsB);

10.  样品室内二次电子探测器(SE);

11. 安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器(In-Lens SE);

12. 配备气锁(air lock),更换样品抽真空时间更短;

13. 能谱仪 ≥60 mm2活性区面积

六、仪器主要功能及其用途:

1. 针对材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料、有机材料)、化学科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、工业生产等领域进行材料的微观形貌观察。(液体样品必须充分烘干后才可进行测试)

2. 针对材料进行实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和点、线扫描分布测量。

七、仪器图片

八、应用实例

1. 形貌分析:

某课题组制备金属银纳米结构,需要对其微观形貌结构进行观察,从而验证该银纳米材料在催化领域具有良好的应用前景。我们采用不同放大倍数,不同扫描模式以及能谱测试针对该样品进行测试,结果如下:

1.1 不同放大倍数观察


1.2 不同扫描模式下观察

二次电子Inlens探测器   二次电子SE2探测器    背散射ESB探测器

2. EDS元素定性分析:

2.1点扫描

Element

Weight%

Atomic%

Ag L

100.00

100.00

Totals

100.00


2.2 线扫描

2.3 面扫描

九、存放地点及联系人:

存放地点:2号教学楼(轻化楼)C107-4

联系人:王老师,13589093690