超高分辨率扫描电子显微镜

电话:15628987596

来源:bwin必赢唯一官方网站发布时间:2024-04-08浏览次数:52

仪器简介封面

场发射扫描电子显微镜

联系人:姜晓萍

地址:千佛山校区新材料研究所

一楼扫描电镜室

电话:15628987596


一、仪器名称

中文名称:场发射扫描电子显微镜

英文名称:Field Emission Scanning Electron Microscope

二、型号:JEOL JSM-7610F Plus

三、生产厂家:日本电子JEOL

四、仪器简介

JSM-7610F Plus是用于纳米科学的肖特基场发射扫描电子显微镜,是一款采用半浸没式物镜、拥有超高分辨率的场发射扫描电子显微镜(分辨率:15kV/ 0.8nm1kV /1.0nm),能观察微细结构。此外它还具备利用GENTLEBEAMTM(柔和电子束)模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。

ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测,即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像,可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪,可广泛应用于微区形貌和成分分析。

五、仪器主要特点及技术指标:

1、电子枪: 浸没式肖特基场发射电子枪

2、透镜系统:聚光镜CL、光阑角控制镜ACL、半浸没式物镜OL

3、加速电压: 0.1~30 kV

4、探针电流: 1 pA ~ 200 nA以上

5、放大倍率:x25~1,000,000

6、二次电子像分辨率:

高加速: 0.8 nm@15.0 kV

低加速: 1.0 nm@1.0 kV (GB)

柔和电子束(GB)模式:GB模式可以在低加速电压下(最低100V)进行高分辨观察,可以直接观察非导电性样品。

7、样品台: 全对中测角样品台,5轴马达驱动

T:-5~ 70°(样品台倾斜)      R:360°无限(样品台水平旋转)

8、电子检测器系列:高位检测器、r-过滤器、内置、低位检测器

9、自动功能:自动聚焦、自动消像散、自动亮度/衬度调节

六、仪器主要功能及其用途:

1、适用于各种材料,如纳米材料、陶瓷材料、金属材料、生物材料等表面形貌分析(需为非磁性样品),可观察材料形状、大小、表面、断面、粒径分布等。

2. 样品要求:粉末、块状、薄膜等无磁性干燥样品。

七、仪器图片

八、存放地点及联系人:

存放地点:千佛山校区新材料研究所一楼扫描电镜室

联系人:姜老师,15628987596